* 기술분야 (대분류) |
환경 |
* 기술분야 (중분류) |
수소 및 연료전지 |
* 특허/실용구분 |
특허 |
* 발명의 명칭 |
금속산화물 이종 접합 구조, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 박막트랜지스터 |
요약 |
산화인듐층 및 상기 산화인듐층과 접촉하는 산화알루미늄층을 포함하는 금속산화물 이종 접합 구조에 있어서, 상기 산화인듐층과 상기 산화알루미늄층 사이에 인듐 이온, 알루미늄 이온 및 산소 이온을 포함하고, 전하의 이동 채널을 제공하는 계면층이 형성된 것을 특징으로 하는, 금속산화물 이종 접합 구조.
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기술상세 |
산화인듐층 및 상기 산화인듐층과 접촉하는 산화알루미늄층을 포함하는 금속산화물 이종 접합 구조에 있어서, 상기 산화인듐층과 상기 산화알루미늄층 사이에 인듐 이온, 알루미늄 이온 및 산소 이온을 포함하고, 전하의 이동 채널을 제공하는 계면층이 형성된 것을 특징으로 하는, 금속산화물 이종 접합 구조.
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출원번호 |
10-2016-0154013
KIPRIS 정보보기
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출원일 |
2016-11-18 |
등록번호 |
10-1914835
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등록일 |
2018-10-29 |
출원인 |
아주대학교 |
발명자/고안자 |
서형탁 |