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금속산화물 이종 접합 구조, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 박막트랜지스터

기본정보

기본정보 상세내용
* 기술분야 (대분류) 환경 * 기술분야 (중분류) 수소 및 연료전지
* 특허/실용구분 특허
* 발명의 명칭 금속산화물 이종 접합 구조, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 박막트랜지스터
요약 산화인듐층 및 상기 산화인듐층과 접촉하는 산화알루미늄층을 포함하는 금속산화물 이종 접합 구조에 있어서, 상기 산화인듐층과 상기 산화알루미늄층 사이에 인듐 이온, 알루미늄 이온 및 산소 이온을 포함하고, 전하의 이동 채널을 제공하는 계면층이 형성된 것을 특징으로 하는, 금속산화물 이종 접합 구조.
기술상세 산화인듐층 및 상기 산화인듐층과 접촉하는 산화알루미늄층을 포함하는 금속산화물 이종 접합 구조에 있어서, 상기 산화인듐층과 상기 산화알루미늄층 사이에 인듐 이온, 알루미늄 이온 및 산소 이온을 포함하고, 전하의 이동 채널을 제공하는 계면층이 형성된 것을 특징으로 하는, 금속산화물 이종 접합 구조.
출원번호 10-2016-0154013 KIPRIS 정보보기 출원일 2016-11-18
등록번호 10-1914835 등록일 2018-10-29
출원인 아주대학교 발명자/고안자 서형탁