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수소 검출 센서 및 이를 위한 수소 감지층의 제조방법

기본정보

기본정보 상세내용
* 기술분야 (대분류) 환경 * 기술분야 (중분류) 수소 및 연료전지
* 특허/실용구분 특허
* 발명의 명칭 수소 검출 센서 및 이를 위한 수소 감지층의 제조방법
요약 수소 검출 센서가 개시된다. 수소 검출 센서는 수소 흡착에 의해 전기 저항이 가역적으로 변하는 촉매 금속과 전이금속의 합금으로 이루어지고 위치에 따라 촉매 금속에 대한 전이금속의 비율이 연속적으로 변화하는 제1 합금층이 2이상 적층된 구조를 갖는 감지층, 이와 접촉하는 제1 및 제2 전극을 통해 감지층의 전기적 저항 변화를 측정하는 분석회로를 구비한다.
기술상세 수소 흡착에 의해 전기 저항이 가역적으로 변하는 알파(α) 결정상의 촉매 금속 및 상기 촉매 금속의 격자 내부로 확산되어 상기 촉매 금속의 상변태(phase transition)를 억제하는 전이금속의 합금으로 전체 영역이 이루어지고, 위치에 따라 상기 촉매 금속에 대한 상기 전이금속의 비율이 연속적으로 변화하는 합금층이 2이상 적층된 구조를 가지며, 상기 촉매 금속에 흡착되는 수소량에 따라 가역적으로 전기적 저항이 변화하는 감지층; 상기 제1 및 제2 전극과 전기적으로 연결되어 상기 감지층의 전기적 저항 변화를 측정하는 분석회로를 포함하고, 상기 촉매 금속은 팔라듐이고, 상기 전이금속은 니켈 또는 마그네슘을 포함하며, 상기 합금층 각각의 내부에서, 상기 합금층의 상부면 및 하부면에 인접한 영역에서의 상기 전이금속의 비율은 상기 상부면과 상기 하부면 사이의 중앙 영역에서의 상기 전이금속의 비율보다 낮은 것을 특징으로 하는, 수소 검출 센서.
출원번호 10-2016-0101574 KIPRIS 정보보기 출원일 2016-08-10
등록번호 10-1768217 등록일 2017-08-08
출원인 아주대학교 발명자/고안자 서형탁