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수소 검출 센서 및 이의 제조방법

기본정보

기본정보 상세내용
* 기술분야 (대분류) 환경 * 기술분야 (중분류) 수소 및 연료전지
* 특허/실용구분 특허
* 발명의 명칭 수소 검출 센서 및 이의 제조방법
요약 수소 검출 센서가 개시된다. 수소 검출 센서는 기판 상에 서로 이격되게 형성된 제1 전극과 제2 전극, 제1 및 제2 전극과 접촉하고 산화텅스텐 입자 및 상기 산화텅스텐 입자 표면에 부착된 팔라듐 나노입자를 포함하는 복합체로 형성된 감지층 및 감지층의 전기 전도도 변화를 측정하는 분석회로를 구비한다. 이러한 수소 검출 센서는 전기적 방식, 색변화 방식 및 광학적 방식으로 수소를 검출할 수 있다.
기술상세 기판; 상기 기판 상에 형성된 제1 전극; 상기 기판 상에 형성되고, 상기 제1 전극과 이격된 제2 전극; 상기 제1 전극의 적어도 일부 및 상기 제2 전극의 적어도 일부와 접촉하도록 상기 기판 상에 형성되고, 산화텅스텐 입자 및 상기 산화텅스텐 입자 표면에 부착된 팔라듐 나노입자를 포함하는 복합체로 이루어진 감지층; 및 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극에 전기적으로 연결되고, 상기 감지층의 전기 전도도 변화를 측정하는 분석회로를 포함하는 수소 검출 센서.
출원번호 10-2015-0038770 KIPRIS 정보보기 출원일 2015-03-20
등록번호 10-1557611 등록일 2015-09-25
출원인 아주대학교 발명자/고안자 서형탁